【英文缩写】 PECVD

【英文全称】 plasma enhanced chemical vapor deposition

【中文解释】 等离子增强的化学蒸发沉积

【缩写分类】 电子电工，化学化工

【缩写简介】 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。

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